光谱椭偏仪

简要描述：光谱椭偏仪是利用椭圆偏振光谱对薄膜表征的有效技术。椭圆偏振光谱是一种表面敏感、非破坏性、非侵入性的光学技术，广泛应用于薄层和表面特征。它基于线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合获得厚度以及光学常数等。根据薄膜材料的不同，可测量的厚度从几个Å到几十微米。椭偏仪可以表征薄膜的一系列

行业应用：光学膜材涂层厚度及性能表征。

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光谱椭偏仪是利用椭圆偏振光谱对薄膜表征的有效技术。椭圆偏振光谱是一种表面敏感、非破坏性、非侵入性的光学技术，广泛应用于薄层和表面特征。它基于线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合获得厚度以及光学常数等。根据薄膜材料的不同，可测量的厚度从几个Å到几十微米。椭偏仪可以表征薄膜的一系列特性，如膜厚、光学特性（n, k）、光学带隙、界面和粗糙度厚度，薄膜组成，膜层均一性等等。

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