X射线光电子能谱仪（XPS）

简要描述：X射线光电子能谱仪是电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，它能准确地测量原子的内层电子束缚能及其化学位移，所以不但能为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、化学状态、分子结构、化学键方面的信息。在分析电子材料时，XPS不但可提供总体方面的化学

行业应用：元素定性、定量分析，化合物结构鉴定。

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X射线光电子能谱仪是电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，它能准确地测量原子的内层电子束缚能及其化学位移，所以不但能为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、化学状态、分子结构、化学键方面的信息。在分析电子材料时，XPS不但可提供总体方面的化学信息，还能给出表面、微小区域和深度分布方面的信息。另外，因为入射到样品表面的X射线束是一种光子束，所以对样品的破坏性非常小，这一点对分析有机材料和高分子材料非常有利。

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